C114訊 10月31日消息（安迪）從運(yùn)動(dòng)檢測(cè)，到環(huán)境感知，以及壓力測(cè)試等等，以加速度計(jì)、陀螺儀、壓力傳感器等為代表的MEMS（微機(jī)電系統(tǒng)）傳感器正扮演著越來越重要的角色，MEMS早已滲透到人們生活的方方面面，尤其在消費(fèi)電子領(lǐng)域廣泛應(yīng)用。

“但是隨著智能手機(jī)增長(zhǎng)進(jìn)入飽和期，而車聯(lián)網(wǎng)、智慧工業(yè)、智慧農(nóng)業(yè)等物聯(lián)網(wǎng)應(yīng)用迅猛發(fā)展，我們看到了MEMS的下一次發(fā)展機(jī)會(huì)——從消費(fèi)電子轉(zhuǎn)向汽車和工業(yè)市場(chǎng)。”意法半導(dǎo)體大中華暨南亞區(qū)模擬和MEMS產(chǎn)品部市場(chǎng)總監(jiān)吳衛(wèi)東表示，這些新興領(lǐng)域?qū)�MEMS既是機(jī)會(huì)，同時(shí)也是挑戰(zhàn)。

意法半導(dǎo)體大中華暨南亞區(qū)模擬和MEMS產(chǎn)品部市場(chǎng)總監(jiān) 吳衛(wèi)東

據(jù)吳衛(wèi)東介紹，MEMS分為兩部分：一部分是傳感器，例如加速度計(jì)、陀螺儀；另一部分是致動(dòng)器。意法半導(dǎo)體是同時(shí)擁有上述這兩項(xiàng)技術(shù)的半導(dǎo)體廠家，因?yàn)樽鳛橐粋�(gè)IDM的半導(dǎo)體公司，意法半導(dǎo)體擁有完整的研發(fā)和生產(chǎn)，我們的技術(shù)能夠支撐我們既做傳感器、也可以做致動(dòng)器。

作為消費(fèi)電子MEMS傳感器市場(chǎng)的主要供應(yīng)商，意法半導(dǎo)體MEMS傳感器已經(jīng)在手機(jī)、平板電腦以及可穿戴設(shè)備上廣泛應(yīng)用。例如，華為手機(jī)采用意法半導(dǎo)體的內(nèi)置OIS光學(xué)防抖傳感器的6軸慣性測(cè)量單元；任天堂Switch主機(jī)和配件采用意法半導(dǎo)體的6軸運(yùn)動(dòng)傳感器；迪卡儂手表等可穿戴設(shè)備采用意法半導(dǎo)體的MEMS器件；eMeet會(huì)議揚(yáng)聲器采用了MP34DT04TR數(shù)字麥克風(fēng)等。

雖然在消費(fèi)電子市場(chǎng)MEMS傳感器領(lǐng)域獲得了巨大成功，但隨著消費(fèi)電子領(lǐng)域的MEMS傳感器市場(chǎng)增幅放緩，尋找MEMS的下一次發(fā)展機(jī)會(huì)成為當(dāng)務(wù)之急。吳衛(wèi)東認(rèn)為，隨著車聯(lián)網(wǎng)、智慧工業(yè)、智慧農(nóng)業(yè)等物聯(lián)網(wǎng)領(lǐng)域的迅猛發(fā)展，將為MEMS市場(chǎng)帶來新活力。

測(cè)量精度是車用及工業(yè)MEMS傳感器面臨的一個(gè)巨大挑戰(zhàn)，提高精度的同時(shí)，如何保持低功耗也是另一巨大挑戰(zhàn)。“為此，意法半導(dǎo)體在傳感器的測(cè)試和校準(zhǔn)技術(shù)以及制程等方面進(jìn)行了很多改進(jìn)。”吳衛(wèi)東指出，為了讓意法半導(dǎo)體MEMS傳感器符合智能駕駛需求，意法半導(dǎo)體也在推動(dòng)ADAS（高級(jí)駕駛輔助系統(tǒng)）與傳感器數(shù)據(jù)的整合，以及航位推算與傳感器數(shù)據(jù)的整合；在MEMS微鏡方面采用磁性雙軸和靜電諧振技術(shù)，并在MEMS麥克風(fēng)車載設(shè)備方面有較大突破。

吳衛(wèi)東舉例稱，在汽車應(yīng)用領(lǐng)域，以導(dǎo)航加載的GPS為例，GPS的信號(hào)有強(qiáng)有弱，MEMS傳感器的功能是輔助GPS，覆蓋GPS盲區(qū)。這種情況下，傳感器就要有好的精度，整個(gè)系統(tǒng)的精度需要達(dá)到米級(jí)別，需要對(duì)傳感器有很好的控制。意法半導(dǎo)體的MEMS提供sensor信號(hào)單元，當(dāng)整個(gè)系統(tǒng)沒有GPS、導(dǎo)航信號(hào)時(shí)，完全通過sensor來做到。除了硬件本身，算法方面，我們已經(jīng)有相應(yīng)的成功方案。

據(jù)吳衛(wèi)東介紹，MEMS sensor也有很多解決方案是針對(duì)汽車的應(yīng)用，例如慣性導(dǎo)航系統(tǒng)方面，包括車規(guī)三軸加速度計(jì)AIS328DQTR+三軸陀螺儀A3G4250DTRIHS等；意法半導(dǎo)體還推出了型號(hào)為AIS2DW12的超低功耗3軸智能加速度計(jì)，采用 2x2x0.7 mm 封裝，這是一款汽車級(jí)產(chǎn)品，可以用于汽車無(wú)鑰匙進(jìn)入功能。

智慧工業(yè)領(lǐng)域，意法半導(dǎo)體推出了智慧工業(yè)運(yùn)動(dòng)傳感器、環(huán)境傳感器等，例如激光測(cè)距儀，LIS2DH12TR用于傾斜檢測(cè)。

作為首個(gè)采用200mm晶片生產(chǎn)微機(jī)電系統(tǒng)產(chǎn)品的主要MEMS廠商，意法半導(dǎo)體MEMS傳感器出貨量已超過130億片。吳衛(wèi)東表示，意法半導(dǎo)體還做出10年生命周期承諾，即產(chǎn)品生命周期從產(chǎn)品上市日期起十年，保證高性能、高質(zhì)量，即使在惡劣的工業(yè)環(huán)境中依然表現(xiàn)出色。

傳感器的應(yīng)用也在經(jīng)歷又一次輪回。“MEMS傳感器始于汽車和工業(yè)領(lǐng)域，但近十年真正推波助瀾的是消費(fèi)類電子市場(chǎng)。現(xiàn)如今，MEMS的下一波浪潮將重新回到汽車和工業(yè)市場(chǎng)。”吳衛(wèi)東表示，我們需要好好把握MEMS的下一次發(fā)展機(jī)會(huì)——從消費(fèi)電子轉(zhuǎn)向汽車和工業(yè)市場(chǎng)。